621.315.592
Ф 503
Физико-химические методы обработки поверхности полупроводников / Луфт Б.Д. (ред.). — М. : Радио и связь, 1982. — 136 с. : ил., табл. — Авт. указаны на обороте тит. л. Библиогр. : с. 129-135.

Книга недели в библиотеке ФИРЭ 15—21 сентября 2014 года

1 комментарий к записи «Физико-химические методы обработки поверхности полупроводников»

1. FIRE library:

   23.09.2014 в 21:25

   Берта Давыдовна Луфт — редактор книги — кандидат химических наук, много лет заведовавшая лабораторией Института радиотехники и электроники АН СССР (ныне ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН)

   Ответить