621.3.049.77(07)
М 546
Метрология в микроэлектронике, микросистемной технике и нанотехнологии: учебное пособие / Горнев Е.С. [и др.]; Моск. гос. техн. ун-т радиотехники, электроники и автоматики. — М.: МГТУ МИРЭА, 2012. — 204 с.: ил., табл. – Библиогр.: с. 198-201. — ISBN 978-5-7339-0887-8.

2 комментария к записи «Метрология в микроэлектронике, микросистемной технике и нанотехнологии»

1. Виктор:

   18.03.2018 в 23:02

   Книга, судя по оглавлению, может быть полезной. Хотелось бы ознакомиться с содержанием.

   Ответить
   • FIRE library:

     20.03.2018 в 13:11

     Добрый день! В нашем фонде имеется только печатная версия книги. Если Вы не являетесь читателем нашей библиотеки, можно заказать через систему МБА БЕН РАН: http://www.benran.ru/

     Ответить