620.3
Т 384
Технология материалов микро- и наноэлектроники / Кожитов Л.В. [и др.] ; Юго-Запад. гос. ун-т. — 2 изд., перераб. и испр. — Курск, 2012. — 860, [1] с. : ил., табл. — Авт. указаны на обороте тит. л. Библиогр. : с. 838-860. — ISBN 978-5-7681-0760-4.