лХМНАПМЮСЙХ
216 лаб.
Лаборатория технологических процессов твердотельной электроники





Руководитель лаборатории:  Лузанов Валерий Альбертович, к.ф.-м.н.



Список сотрудников:

Шустин Евгений Германович, д.ф.-м.н. главный научный сотрудник shustin@ms.ire.rssi.ru
Сорокин Иван Александрович, к.ф.-м.н. старший научный сотрудник    
Колодко Добрыня Вячеславич старший научный сотрудник    
Миргородская Елена Никифоровна ведущий технолог    
Моисеев Виктор Петрович ведущий инженер    
Древнюк Людмила Михайловна инженер    
Жильчикова Влада Валерьевна инженер    
Валиева Елена Александровна техник    


Область деятельности:
  • Сверхпроводимость. Эпитаксиальные и текстурированные пленки высокотемпературной сверхпроводимости.
    Джозефсоновские переходы. Многослойные структуры.
  • Оптоэлектроника. Структуры для оптических волноводов, кремниевые источники света.
  • Акустоэлектроника. Пьезоэлектрические пленки.
  • Структурный анализ. Дифрактометрия. Лауэграфия. Рамановское рассеяние
  • Фотолитография. Топологические узоры. Жидкостное, ионно-лучевое, плазмохимическое травление.
  • Кристаллы. Рост. Ориентированная резка. Химико-механическая полировка.
  • Графен. Низкоэнергетическая плазма


Основные усилия Лаборатории технологических процессов твердотельной электроники ФИРЭ сосредоточены на исследовании и разработке технологических методик получения новых тонкоплёночных материалов для создания приборов и устройств твердотельной СВЧ микроэлектроники, акустоэлектроники, интегральной оптики, высокотемпературной сверхпроводящей электроники, спинволновой электроники. Лаборатория обладает широким спектром технологического оборудования для оперативного проведения исследований, и изготовления опытных образцов. Важным моментом в организации работы лаборатории является локальная интеграция основных этапов разработки технологических методик.

  • Изготовление подложек включает ориентированную резку кристаллов, химико-механическую шлифовку и полировку с минимальным нарушенным приповерхностным слоем (до 1 нм).
  • Осаждение пленок металлов, оксидов и нитридов проводится на установках магнетронного и электронно-лучевого (с криогенной откачкой) напыления Leybold Heraeus (Германия).


  • Контроль и исследование кристаллической структуры осаждаемых слоев проводится с помощью рентгеноструктурного и рентгенофазового анализа на автоматизированных дифрактометрах и методами комбинационного рассеяния (Рамановская спектроскопия).



  • Участок фотолитографии на оборудовании Karl Suss (Германия) обеспечивает изготовление необходимых топографических узоров.



  • Травление структур выполняется на установках ионно-лучевого




  • и плазмохимического травления (Leybold AG).




  • Высокий уровень научной деятельности лаборатории подтвержден двумя Государственными премиями 1987 и 2003 года.



    А также более чем десятком патентов на изобретения.



    Научно-исследовательские работы, выполняемые в лаборатории:

    1. Госзадание 0030-2019-0012 "Создание и исследование новых перспективных материалов и структур для элементов функциональной электроники и оптических систем" Руководитель Чучева Г.В.
    2. РНФ 23-49-10014 "Создание и исследование высокоэффективных конденсаторных структур на основе сегнетоэлектрических материалов различных составов для перспективных энергонезависимых запоминающих устройств." 2023-2024. Руководитель Чучева Г.В.
    3. РНФ 23-29-00276 "Мемристивные системы на базе алмазоподобного углерода: синтез, электронный транспорт и эффекты резистивного переключения." 2023-2024. Руководитель Веденеев А.С.

    Уникальное оборудование, созданное в лаборатории:

    Плазмохимический реактор с пучково-плазменным разрядом BPD-PSI

    Применение:

  • Получение, обработка и бездефектное травление наноразмерных пленок и структур.
  • Исследование физики пучковой плазмы, пучково-плазменного разряда и автоколебательных вторично-эмиссионных разрядов.
  • Исследование процессов взаимодействия электронного пучка и плазмы с поверхностью твердого тела (ТТ):
  • Модификация поверхности.
  • Накопление газа в ТТ (гелий и изотопы водорода).
  • Отработка методик диагностики плазмы и поверхности ТТ.
  • Зондовая диагностика.
  • Оптико-эмиссионная спектроскопия.
  • Масс-анализ ионного потока и состава остаточного газа.
  • Термодесорбционная спектроскопия электронным пучком.
  • Вторично-эмиссионная диагностика поверхности.
  • Стенд с раскомпенсированным полым катодом

    Применение:

  • Изучение транспорта материала в распылительных системах.
  • Получение тонких плёнок.
  • Диагностика плазмы и транспорта распылённого материала.
  • Возможность распыления легкоплавких и ферромагнитных материалов.
  • Возможность распыления лёгкими газами с высокой скоростью.
  • Последние научно-исследовательские работы, выполненные в лаборатории:

    1. РФФИ 20-07-01075 "Магитоупругие взаимодействия и генерация спиновых токов в гибридных резонаторах объемных акустических волн СВЧ диапазона." 2019-2021. Руководитель Ползикова Н.И.
    2. РФФИ 19-07-00432 "Создание наноструктурированных композитных систем на основе алмазоподобного углерода плазменными методами." 2019-2021. Руководитель Лузанов В.А.
    3. РФФИ 19-02-00593 "Физические эффекты на краях, ступенях и границах зерен топологически нетривиальных материалов." 2019-2021. Руководитель Зайцев-Зотов С.В.
    4. РФФИ 18-29-19047 "Наноструктурированные композитные системы на основе алмазоподобного углерода и графена: технология и синтез, электротранспортные и мемристивные свойства." 2018-2020. Руководитель Веденеев А.С.
    5. РФФИ 18-07-00729 "Магнитные нанокомпозиты металл/диэлектрик: эффекты резистивного переключения и спин-зависимого магнетосопротивления." 2018-2020. Руководитель Веденеев А.С.
    6. РФФИ 17-47-500273 "Структурированные нанокомпозиты на основе анодного оксида алюминия: магнетосопротивление и эффекты резистивного переключения." 2017-2019. Руководитель Бугаев А.С.
    7. РФФИ 17-07-01498 "Широкополосная акустическая резонаторная спектроскопия слоистых пьезоэлектрических и мультиферроидных структур для задач акустоэлектроники и спинтроники." 2017-2019. Руководитель Алексеев С.Г.
    8. РФФИ 17-07-00241 "Формирование насыщающихся поглотителей на основе халькогенидов висмута для волоконных лазеров с модулированной добротностью методом MOCVD." 2017-2019. Руководитель Кузнецов П.И.
    9. РФФИ 16-07-01210 "Акустическая спиновая накачка в магнитоэлектрических резонаторах на объемных акустических волнах СВЧ диапазона для спинтронных устройств обработки и передачи информации." 2016-2018. Руководитель Ползикова Н.И.
    10. РФФИ 16-07-00800 "Синтез и спин-инжекционные свойства гибридных систем на базе упорядоченного ансамбля магнитных переходов в структурированном нанокомпозите оксид алюминия/ферромагнетик." 2016-2018. Руководитель Лузанов В.А.
    11. РФФИ 16-02-00677 "Электронные состояния, электронный и спиновый транспорт в системах с сильным спин-орбитальным взаимодействием" 2016-2018. Руководитель Зайцев-Зотов С.В.
    12. РФФИ 15-07-04618 "Планарные структуры на основе ансамблей магнитных наноцилиндров для спинтроники" 2015-2017. Руководитель Веденеев А.С.
    13. Программа Президиума РАН "Экстремальные световые поля и их приложения", проект 5.1.А "Создание керамических активных элементов для мощных твердотельных лазеров". Руководитель - Кравченко В.Б. (совместно с лаб.215,218,219).
    14. РФФИ 14-08-00143 "Пучково-плазменный разряд как источник плазмы для новых технологий обработки материалов для наноэлектроники. " 2014-2017. Руководитель Шустин Е.Г.
    15. РФФИ 14-07-00242 "Выращивание гетероэпитаксиальных тонких слоев топологического диэлектрика Bi2Se3 методом MOCVD и исследование их транспортных свойств" 2014-2017. Руководитель Кузнецов П.И.
    16. РФФИ 14-47-03575 "Нанокомпозитные системы для спинтроники на основе ансамблей магнитных переходов в матрице анодного оксида алюминия: синтез и спин-инжекционные эффекты" 2014-2017. Руководитель Бугаев А.С.
    17. РФФИ 14-02-90446 "Исследование процессов фазообразования, формирования структуры и свойств высоколегированных лазерных нанокерамик (Y1-хREx)3(Al1-уGay)5O12 (RE=Nd, Yb)" 2014-2017. Руководитель Кравченко В.Б.
    18. РФФИ 13-07-01006 "Акустические исследования мультиферроидных материалов и слоистых магнитоэлектрических структур методами: СВЧ резонансной спектроскопии и тепловых фононов. " 2013-2016
    19. РФФИ 13-07-12416 "Магнитоэлектрические структуры и материалы для акустоэлектронных устройств обработки информации" 2013-2016
    20. РФФИ 11-02-12031-офи-м-2011 «Акустическая резонансная ВЧ и CВЧ спектроскопия мультиферроидных структур и материалов». Руководитель - Мансфельд Г.Д. (совместно с лаб. 171).
    21. РФФИ 11-02-90465-Укр_ф_а «Получение и исследование нанокристаллов легированных оксидов редкозмельных элементов для люминофоров и оптической керамики». Руководитель - Кравченко В.Б. (совместно с лаб. 215,217,218,219).
    22. РФФИ 11-07-00195-а «Исследования, направленные на создание периодических наноструктур широкозонных соединений A2B6 , и изготовление на их основе ульрафиолетовых лазеров в оптическом диапазоне 325-365 нм». Руководитель - Кузнецов П.И. (совместно с лаб. 197,215,218,257).
    23. РФФИ 10-02-00844a. «Изучение механизма твердофазного роста кристаллов высокотемпературных оксидов», Руководитель - Котелянский И.М. (совместно с лаб.215, 218,219).
    24. РФФИ 10-02-00705-а «Получение и исследование нанокристаллов иттрий-алюминиевого граната». Руководитель - Кравченко В.Б. (совместно с лаб. 215,218,219).
    25. РФФИ 09-07-13531-офи_ц «Акустоэлектронные устройства на основе фононных кристаллов и многослойных брэгговских структур». Руководитель - Никитов С.А. (совместно с лаб. 152, 171, 254).
    26. РФФИ 09-02-12443 «Создание новых акустоэлектронных СВЧ устройств на объемных акустических волнах на основе физических свойств материалов и современных технологий и методов контроля». Руководитель - Мансфельд Г.Д., (совместно с лаб. 171).
    27. Инициативная НИР. «Исследования и разработка методики твёрдофазного роста монокристаллов иттрий-алюминиевого граната». Руководитель Кравченко В.Б. (совместно с лаб.215,218,219).
    28. Инициативная НИР. «Исследование процессов формирования и консолидации наночастиц оксидов для прозрачных нанокерамик» Руководитель. Кравченко В.Б. (совместно с лаб.215,218,219).
    29. Инициативная НИР «Получение оксидных керамик для рентгеновских сцинтилляторов». Руководитель. Кравченко В.Б.  (совместно с лаб.215,218,219).
    30. Проект МНТЦ N 3294 «Создание излучающих в синей и ближней УФ области спектра пленочных структур на основе оксида цинка» Руководитель от ИРЭ Никитов С.А. (совместно с Институтом проблем лазерных и информационных технологий РАН и лаб.218).

    Последние публикации:

    1. I.A. Sorokin, D.V. Kolodko. Planar hollow cathode sputtering with asymmetrical voltage supply. // Vacuum, Volume 207, article 111570, January 2023. DOI:10.1016/j.vacuum.2022.111570
    2. Krat S., Selivanov R., Sorokin I., Podolyako F. and others. First study of lithium boron composite as plasma facing material. // Nuclear Materials and Energy, Volume 35, article 101423, June 2023. DOI:10.1016/j.nme.2023.101423
    3. Stepan Krat; Alexander Prishvitsyn; Elena Fefelova; Maria Popova; Ivan Sorokin; Yuri Gasparyan; Alexander Pisarev. Deuterium to protium isotope exchange in W-D co-deposited films below 200°C.// Journal of Nuclear Materials, Volume 575, article 154228, March 2023. DOI:10.1016/j.jnucmat.2022.154228
    4. Krat, S., Fefelova, E., Pryshvitsin, A., Sorokin, I. and others. Effect of helium presence on tungsten-deuterium co-deposited films. // Nuclear Materials and Energythis link is disabled, Volume 34, article 101336, 2023.
    5. Krat S, Prishvitsyn A, Alieva A., Sorokin I. and others. //MEPhIST-0 Tokamak for Education and Research, Fusion Science and Technology, pages 1-19, 2023. DOI:10.1080/15361055.2022.2149033
    6. V. A. Luzanov, V. V. Balashov & K. V. Lopukhin. Two-Stage Sintering of Yttrium Iron Garnet Ceramics for Magnetron Sputtering// Journal of Communications Technology and Electronics volume 67, pages690-691 (2022)
    7. V.V.Balashov, L.Yu Zakharov, A.V.Inyushkin, A.Yu,Kanaev, A.B.Kozlov, S.M.Kozlova, A.L.Koromyslov, K.V.Lopukhin, V.A.Luzanov, K.S.Pervakov, I.M.Tupitsyn, D.A.Chernodoubov, E.A.Cheshev. Comparative study of LuxY1-xAG (x=0..1) laser ceramics doped with 5% Yb3+//Ceramics International. Volume 48, Issue 5, 1 March 2022, Pages 6294-6301.
    8. Luzanov, V.A. Growth of Epitaxial Fe2O3 Films on Lithium Niobate Substrates. J. Commun. Technol. Electron. 67, 296-297 (2022). https://doi.org/10.1134/S106422692203010X
    9. Sorokin, I. A. Numerical Simulation of the Instability of the Current between Plasma and a High Emissivity Surface. // Journal of Communications Technology and Electronics, Volume 67, pages 97–100, 2022. DOI:10.1134/S1064226922130083
    10. N.S. Sergeev, I.A. Sorokin, F.S. Podolyako. A new compact linear beam-plasma discharge simulator BPD-PSI. // Journal of Instrumentation, Volume 17, November 2022. DOI:10.1088/1748-0221/17/11/P11012
    11. Shustin, E.G.; Kolodko, D.V. ; Luzanov, V.A. ; Mirgorodskaya, E. N.; Sorokin, I. A. ; Tarakanov, V. P.; Temiryazeva, M. P.; Frolov, E. S. Etching of “Microwire-on-Insulator”-Type Structures.//Plasma Physics Reportsthis link is disabled, Volume 48, Issue 6, pages 638–644, 2022. DOI:10.1134/S1063780X22600517
    12. Peter B. Mozhaev, Igor K. Bdikin, Valery A. Luzanov, Jorn Bindslev Hansen & Claus S. Jacobsen. Tilting of the top layer of graphoepitaxial metal-oxide multilayer thin film heterostructures.// Applied Physics A volume 127, Article number: 912 (2021) DOI: 10.1007/s00339-021-05070-y
    13. S. N. Nikolaev, A. S. Vedeneev, V. A. Luzanov, A. V. Emel'yanov, A. M. Kozlov, A. S. Bugaev & V. V. Ryl'kov. Non-Ohmic Conductivity of High-Resistance Layers of Diamond-Like Carbon. // Journal of Communications Technology and Electronics volume 66, pages1196-1200 (2021)
    14. I.A.Sorokin, D.V.Kolodko. On the possibility of indirect measurement of the thin carbon films thickness using energy-dispersive analysis.// Thin Solid Films, Volume 737, 1 November 2021, 138937
    15. Rostami, Kh R. ; Nikitin, I. P. ; Luzanov, V. A. Method for Creating High-Sensitivity Two-Stage Hall Effect Magnetometers with High Linearity and Spatial Resolution.// Journal of Communications Technology and Electronics volume 66, pages1201-1210 (2021) DOI: 10.1134/S1064226921100132
    16. Gasparyan, Y; Bachurina, D; Efimov, V; Gurova, J; Podolyako, F; Sergeev, N; Sorokin, I; Suchkov, A; Bobyr, N; Kozlov, I; Kulikova, E; Spitsyn, A. Deuterium retention in the elements of plasma facing components for the DEMO first wall.// JOURNAL OF NUCLEAR MATERIALS, Volume 567, article 153837, 15 August 2022. DOI: 10.1016/j.jnucmat.2022.153837
    17. Shustin, E.G. Beam–Plasma Discharge in Space and in a Lab.Plasma Physics Repfetchiortsthis link is disabled.// Volume 47, Issue 6, pages 536–547, 2021. DOI: 10.1134/S1063780X21060143
    18. Vizgalov, I. V.; Sorokin, I. A. Testing Secondary-Emission Self-Oscillatory Probe.// PHYSICS OF ATOMIC NUCLEI, Volume 83, Issue 10, pages 1459-1466, December 2020. DOI: 10.1134/S1063778820100245
    19. Potapov, A. V. ; Zavolokov, E. V. ; Kondrat'ev, A. A. ; Pkhaiko, N. A. ; Sorokin, I. A. ; Goncharenko, B. G. ; Luzanov, V. A. ; Salov, V. D. Generation of Ultrawideband Electromagnetic Radiation by a Vacuum Photodiode with Anode with a Sapphire Input Window // Technical Physics, Volume 66, Issue 3, p.491-495. DOI: 10.1134/S1063784221030191
    20. Luzanov V. A. Growth of Thin Epitaxial NiO Films on LiNbO3 Substrates // Journal of Communications Technology and Electronics. 2020, Volume 65, Issue 12, Page 1422-1424, DOI: 10.1134/S106422692011011X.
    21. Alekseev S. G., Luzanov V. A., Polzikova, N. I. Study of Spatial Distribution of Piezoelectric Properties of ZnO Films by Acoustic Resonator Spectroscopy. // Journal of Communications Technology and Electronics. 2020, Volume 65, Issue 11, Page 1339-1344
    22. S. G. Alekseev, S. E. Dizhur, N. I. Polzikova, V. A. Luzanov, A. O. Raevskiy, A. P. Orlov, V. A. Kotov, and S. A. Nikitov. Magnons parametric pumping in bulk acoustic waves resonator. // Applied Physics Letters. Appl. Phys. Lett. 117, 072408 (2020) https://doi.org/10.1063/5.0022267.
    23. I. A. Sorokin, D. V. Kolodko, V. A. Luzanov & E. G. Shustin. Growth of Thin Graphite Films on a Dielectric Substrate using Heteroepitaxial Synthesis // Technical Physics Letters volume 46, pages497-500 (2020) DOI: 10.1134/S1063785020050260
    24. Luzanov V.A. Features of Indium Tin Oxide Film Deposition by Magnetron Sputtering. // Journal of communications technology and electronics. 2020. V. 65 N. 3 P. 292-293. DOI: 10.1134/S1064226920030110
    25. Sorokin I.A., Kolodko D.V. Luzanov V.A and Shustin E.G. Growth of Thin Graphite Films on a Dielectric Substrate Using Heteroepitaxial Synthesis // Technical Physics Letters. 2020. - Vol.46. - No.10 - P.38-41. DOI: 10.1134/S1063785020050260
    26. Krat, S. A.; Kharina, A. P.; Sorokin, I. A.; Kostyushin, V. A.; Vovchenko, E. D.; Kurnaev, V. A. Investigation of the Laser Radiation Focusing Effect on the Sensitivity of Analysis of the Hydrogen Isotope Content in Plasma-Deposited Layers by Laser-Induced Desorption // PHYSICS OF ATOMIC NUCLEI, Volume 83, Issue 11, pages 1533-1537, December 2020. DOI: 10.1134/S1063778820110058
    27. Kolodko, D. V.; Sorokin, I. A.; Tarakanov, V. P.; Shustin, E. G. Model of a Plasma Layer Formed by an Electron Beam.// PLASMA PHYSICS REPORTS, Volume 46, Issue 7, pages 703-708, July 2020. DOI:10.1134/S1063780X20070053
    28. Лузанов В.А. Рост тонких эпитаксиальных пленок NiO на подложках из LiNbO3 // Радиотехника и электроника, 2020, T. 65, N 12, стр. 1206-1208. DOI: 10.31857/S003384942011011X
    29. Sorokin I.A., Kolodko D.V., Krasnobaev K.I. Deposition of metal-doped diamond-like films using a hollow cathode discharge // Journal of communications technology and electronics. 2020.- V. 65. No.3.- P. 286-289. DOI: 10.1134/S1064226920030183
    30. Колодко Д.В., Сорокин И.А., Тараканов В.П., Шустин Е.Г. Модель плазменного слоя, сформированного электронным пучком // Физика плазмы. 2020.-Т.46.-?7.-С.621-626. DOI: 10.31857/S0367292120070057
    31. Shustin, E.G. Beam plasma discharge in technologies of materials for nanoelectronics.//Journal of Physics: Conference Seriesthis link is disabled, 1393(1):012058, 2019. DOI:10.1088/1742-6596/1393/1/012058
    32. Vizgalov, I. V.; Gutorov, K. M.; Kurnaev, V. A.; Sorokin, I. A. Self-Oscillating Mode of a Probe with Increased Secondary Emission for Nonequilibrium Plasma Diagnostics.// PHYSICS OF ATOMIC NUCLEI, Volime 82, Issue 10, pages 1368-1375, December 2019. DOI: 10.1134/S1063778819100181
    33. Bulgadaryan, D. G.; Sinelnikov, D. N.; Sorokin, I. A.; Kurnaev, V. A.; Efimov, N. E. Built-In Surface Analyzer for Plasma Devices with Magnetic Field. //PHYSICS OF ATOMIC NUCLEI, Volume 82, Issue 10, pages 1364-1367, December 2019. DOI: 10.1134/S1063778819100089
    34. Tarakanov, V. P.; Shustin, E. G.; Ronald, K. Simulation of sputtering from an isolated conductor surrounded by a dielectric during plasma etching.// VACUUM , Volume 165, pages 262-265, July 2019. DOI:10.1016/j.vacuum.2019.04.021
    35. Marenkov, E.; Gutorov, K.; Sorokin, I. Radiation of high-Z atoms sputtered, by plasma. // NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, Volume 436, pages 257-262, December 2018. DOI:10.1016/j.nimb.2018.10.005
    36. Sorokin, I. A.; Shustin, E. G. Density Profile of a Plasma Layer Formed by an Electron Beam.// PLASMA PHYSICS REPORTS, Volume 44, Issue 12, pages 1164-1168, December 2018. DOI:10.1134/S1063780X18120061
    37. Mamedov, N.V.; Shchitov, N.N.; Kolodko, D.V.; Sorokin, I.A.; Sinel'nikov, D.N. Discharge Characteristics of the Penning Plasma Source.//TECHNICAL PHYSICS, Volume 63, Issue 8, pages 1129-1136, August 2018. DOI:10.1134/S1063784218080121
    38. Sorokin, I. A.; Kolodko, D. V.; Shustin, E. G. Synthesis of Nano-Crystalline Graphite Films in Hollow Cathode Discharge.// TECHNICAL PHYSICS, Volume 63, Issue 8, pages 1157-1159, August 2018. DOI:10.1134/S1063784218080194
    39. Mamedov, N. V.; Prokhorovich, D. E.; Yurkov, D. I.; Kanshin, I. A.; Solodovnikov, A. A.; Kolodko, D. V.; Sorokin, I. A. Measurements of the Ion-Beam Current Distribution over a Target Surface under a High Bias Potential.//INSTRUMENTS AND EXPERIMENTAL TECHNIQUES, Volume 61, Issue 4, pages 530-537, July 2018. DOI:10.1134/S0020441218030223
    40. Mamedov, N. V.; Lobok, M. G.; Kolodko, D. V.; Sorokin, I. A.; Sinelnikov, D. N. Study of energy and mass-charge spectra of ions emitted by hydrogen Penning plasma source. // PROCEEDINGS OF THE 17TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON ION SOURCES, AIP Conference Proceedings, Volume 2011, Article 090003, 2018. DOI:10.1063/1.5053384
    41. Mamedov, N. V.; Sinelnikov, D. N.; Kurnaev, V. A.; Kolodko, D. V.; Sorokin, I. A. LEIS analysis of the W surface during water vapor adsorption.// VACUUM, Volume 148, pages 248-253, February 2018. DOI:10.1016/j.vacuum.2017.11.026
    42. Mamedov, N. V.; Prokhorovich, D. E.; Kanshin, I. A.; Solodovnikov, A. A.; Kolodko, D. V.; Sorokin, I. A. Comparison of the ion beam profile measuring methods.// PROCEEDINGS OF THE 17TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON ION SOURCES, AIP Conference Proceedings, Issue 2011, article 080006, 2018. DOI:10.1063/1.5053361
    43. Marenkov, E.; Nordlund, K.; Sorokin, I. ; Eksaeva, A.; Gutorov, K.; Jussila, J.; Granberg, F.; Borodin, D. Angular and velocity distributions of tungsten sputtered by low energy argon ions.//JOURNAL OF NUCLEAR MATERIALS, Volume 496, pages 18-23, December 2017. DOI:10.1016/j.jnucmat.2017.09.021
    44. Sorokin, I. A.; Gutorov, K. M.; Bolotov, M. D. Measurement of Temperature and Density Profiles of the Plasma at PR-2 Facility.//PHYSICS OF ATOMIC NUCLEI, Volume 80, Issue 11, pages 1656-1661, December 2017. DOI:10.1134/S1063778817110175
    45. Kolodko, D. V.; Sinelnikov, D. N.; Sorokin, I. A.; Mamedov, N. V. Corpuscular Diagnosis of the Plasma of Penning Ion Sources.//PHYSICS OF ATOMIC NUCLEI, Volume 80, Issue 11, pages 1687-1691, December 2017. DOI:10.1134/S1063778817110084
    46. N. Polzikova, S. Alekseev, I. Pyataikin, I. Kotelyanskii, V. Luzanov, A. Raevskiy. Magnetoelectric BAW resonator as a source of pure spin current. International Ultrasonics Symposium (IUS), 6-9 Sept. 2017, Washington, DC, USA.
    47. I. I. Pyataikin, N. I. Polzikova, S. G. Alekseev, I. M. Kotelyanskii, V.A.Luzanov, A. O. Raevskiy, L. A. Galchenkov. Spin pumping in a composite high overtone bulk acoustic wave resonator. Bulletin of the Russian Academy of Sciences Physics 81(8):962-968 · August 2017
    48. Sorokin, I. A.; Vizgalov, I. V.; Kurnaev, V. A.; Brandt, C.; Kreter, A.; Linsmeier, Ch. In-situ mass-spectrometer of magnetized plasmas.// NUCLEAR MATERIALS AND ENERGY, Volume 12, Специальный выпуск:SI, pages 1243-1247, August 2017. DOI:10.1016/j.nme.2017.01.015
    49. P.I. Kuznetsov, B.S. Shchamkhalova, V.O. Yapaskurt, V.D. Shcherbakov, V.A.Luzanov, G.G. Yakushcheva, V.A. Jitov, V.E. Sizov. MOVPE deposition of Sb2Te3 and other phases of Sb-Te system on sapphire substrate. Journal of Crystal Growth, Volume 471, 1 August 2017, Pages 1-7.
    50. Mamedov, N. V.; Kolodko, D. V.; Sorokin, I. A.; Kanshin, I. A.; Sinelnikov, D. N. Energy & mass-charge distribution peculiarities of ion emitted from penning source.// 5TH INTERNATIONAL CONGRESS ON ENERGY FLUXES AND RADIATION EFFECTS 2016, Journal of Physics Conference Series, Volume 830, article 012063, May 2017. DOI:10.1088/1742-6596/830/1/012063
    51. А.С.Веденеев, В.В.Рыльков, К.С.Напольский, А.П.Леонтьев, А.А.Клименко, А.М.Козлов, В.А.Лузанов, С.Н.Николаев, М.П.Темирязева, А.С.Бугаев. Эффекты электронного увлечения золота в порах анодного оксида алюминия: обратимое резистивное переключение в цепочке точечных контактов. Письма в ЖЭТФ, 2017, том 106, вып. 6, с. 387 - 391.
    52. V.A.Luzanov. Specific Features of the Formation of Oblique Texture in Aluminum Nitride Films. Journal of Communications Technology and Electronics, 2017, Vol. 62, No. 10, pp. 1182-1183
    53. A.Vedeneev, V.Luzanov, V.Rylkov, A.Kozlov, A.Bugaev, K.Chernoglazov. Effects of resistive switching in Au/FeOx/Pt structures. Journal of Communications Technology and Electronics 62(8):894-897 · August 2017
    54. E. G. Shustin, N. V. Isaev, V. A. Luzanov, and M. P. Temiryazeva Formation of V. A. Luzanov, I. M. Kotelyanskii, and E. G. Shustin Formation of Thin Graphite Films upon Carbon Diffusion through Nickel. Technical Physics, 2017, Vol. 62, No. 7, pp. 1069-1072
    55. V. A. Luzanov, I. M. Kotelyanskii, and E. G. Shustin. Single-Domain Nickel Films for Production of Graphene. Journal of Communications Technology and Electronics, 2017, Vol. 62, No. 7, pp. 820-821.
    56. E. G. Shustin. Plasma Technologies for Material Processing in Nanoelectronics: Problems and Solutions. Journal of Communications Technology and Electronics, 2017, Vol. 62, No. 5, pp. 454-465
    57. E.G. Shustin V.P. Tarakanov, K. Ronald. Computer simulation of the sheath and the adjacent plasma in the presence of a plasma source. Vacuum 2017 V.135 P.1-6.
    58. P.I. Kuznetsov, V.O. Yapaskurt, B.S. Shchamkhalova, V.D. Shcherbakov,G. Yakushcheva, V.A. Luzanov, V.A. Jitov. Growth of Bi2Te3 films and other phases of Bi-Te system by MOVPE. Journal of Crystal Growth 455 (2016) 122-128.
    59. Gutorov, K. M. ; Vizgalov, I. V.; Sorokin, I. A.; Podolyako, F. S. Study of the Interaction of Plasma with Fusion Reactor Materials in Linear Simulators with Beam-Plasma Discharge. // JOURNAL OF SURFACE INVESTIGATION, Volume 10, Issue 3, pages 612-616, May 2016. DOI:10.1134/S1027451016030253
    60. Vizgalov, I. V.; Sorokin, I. A.; Kurnaev, V. A. Monitoring of the relationship between H-a and D-a emission as a detection method for water microleaks into ITER.// II CONFERENCE ON PLASMA & LASER RESEARCH AND TECHNOLOGIES, Journal of Physics Conference Series, Volume 747, article UNSP 012020, 2016. DOI:10.1088/1742-6596/747/1/012020
    61. N. I. Polzikova, S. G. Alekseev, I. I. Pyataikin, I. M. Kotelyanskii, V. A. Luzanov, A. P. Orlov. Acoustic spin pumping in magnetoelectric bulk acoustic wave resonator, AIP Advances, 6, pp. 056306 (1-4), 2016.
    62. P. I. Kuznetsov, V. A. Luzanov, G. G. Yakusheva, A. G. Temiryazev, B. S. Shchamkhalova, V. A. Zhitov, and L. Yu. Zakharov. Deposition of Heteroepitaxial Layers of Topological Insulator Bi2Se3 in the Trimethylbismuth-Isopropylselenide-Hydrogen System on the (0001) Al2O3 and (100) GaAs Substrates. Journal of Communications Technology and Electronics, 2016, Vol. 61, No. 2, pp. 183-189
    63. P.I. Kuznetsov , G.G. Yakushcheva, B.S. Shchamkhalova , V.A. Luzanov, A.G. Temiryazev, V.A. Jitov. Metalorganic vapor phase epitaxy of ternary rhombohedral (Bi1-xSbx)2 Se3 solid solutions. Journal of Crystal Growth, Volume 433, 1 January 2016, Pages 114-121.
    64. Kolodko, D. V.; Mamedov, N. V.; Vizgalov, I. V.; Sinelnikov, D. N.; Sorokin, I. A. Increase atom/molecular ratio of the hydrogen discharge.//6TH INTERNATIONAL WORKSHOP & SUMMER SCHOOL ON PLASMA PHYSICS 2014 (IWSSPP'14), Journal of Physics Conference Series, Volume 768, article 012019, 2016. DOI:10.1088/1742-6596/768/1/012019
    65. Kolodko, D; Sorokin, I; Vizgalov, I. Longitudinal Electron Energy Distribution Measurements in PR-2 Mirror Machine.// OPEN MAGNETIC SYSTEMS FOR PLASMA CONFINEMENT (OS2016), AIP Conference Proceedings, Volume 1771, article 040008, 2016. DOI:10.1063/1.4964193
    66. Sorokin, I. ; Vizgalov, I. ; Kolodko, D. Stationary Diagnostics Of Magnetized Plasmas.// OPEN MAGNETIC SYSTEMS FOR PLASMA CONFINEMENT (OS2016), AIP Conference Proceedings, Volume 1771, article 050010, 2016. DOI: 10.1063/1.4964204
    67. V.P. Tarakanov, E.G. Shustin. Corrigendum to: Charging effects of plasma impact on microconductor structures on an insulator in plasma processing technologies. Vacuum 2015, V119, September 2015, P. 289
    68. V.P. Tarakanov, E.G. Shustin. Charging effects of plasma impact on microconductor structures on an insulator in plasma processing technologies. Vacuum 2015, V.113 P. 59-63.
    69. PI Kuznetsov, GG Yakushcheva, BS Shchamkhalova, VA Luzanov, AG Temiryazev, VA Jitov. “Metalorganic vapour phase epitaxy of ternary rhombohedral (Bi1− xSbx) 2 Se 3 solid solutions” Journal of Crystal Growth, 2015/9/10
    70. В. А. Лузанов, А. С. Веденеев, В. В. Рыльков, М. П. Темирязева, А. М. Козлов, М. П. Духновский, А. С. Бугаев. Получение тонких пленок тантала с использованием метода магнетронного распыления. Радиотехника и электроника, 2015, том 60, № 11, с. 1–3
    71. S.G. Alekseev , I. M. Kotelyanskii, N. I. Polzikova, G. D. Mansfel’d “Study of layered structures using modified acoustic resonator spectroscopy” Journal of Communications Technology and Electronics, March 2015, Volume 60, Issue 3, pp 300-307
    72. Sorokin, I. A.; Vizgalov, I. V.; Gutorov, K. M.; Podolyako, F. S. Effect of water vapor on the ionic composition of the hydrogen beam-plasma discharge. //BULLETIN OF THE LEBEDEV PHYSICS INSTITUTE, Volume 42, Issue 12, pages 350-355, December 2015. DOI:10.3103/S1068335615120052
    73. Gutorov, K. M.; Vizgalov, I. V.; Sorokin, I. A.; Podolyako, F. S. Current-Voltage Characteristic of the Contact of a Plasma with an Electrode with a Thin Dielectric Film on the Surface. // JETP LETTERS, Volume 100, Issue 11, pages 708-711, February 2015. DOI:10.1134/S0021364014230064
    74. P.I. Kuznetsov , G.G. Yakushcheva, V.A. Luzanov, A.G. Temiryazev, B.S. Shchamkhalova, V.A. Jitov, V.E. Sizov. “Metalorganic vapour phase epitaxy growth of ternary tetradymite Bi2Te(3−x)Se(x) compounds” Journal of Crystal Growth, 2014/9/30
    75. Ползикова Н.И. , Алексеев С.Г., Котелянский И.М., Лузанов В.А., Раевский А.О. «Магнитоупругие взаимодействия в составном акустическом СВЧ-резонаторе, содержащем ферромагнитные пленки», Сборник трудов 1-ой Всероссийской акустической конференции, секция Акустоэлектроника, сс. 22-29, 2014, Москва, 6-10 октября.
    76. Isaev, N. V.; Klykov, I. L. ; Peskov, V. V. ; Shustin, E. G. ; Vizgalov, I. V.; Kurnaev, V. A. A plasmochemical reactor based on a beam-plasma discharge.//INSTRUMENTS AND EXPERIMENTAL TECHNIQUES, Volume 57, Issue 1, pages 82-85, January 2014. DOI:10.1134/S002044121401014X
    77. Natalia Polzikova , Sergey Alekseev, Iosif Kotelyanskii, Valery Luzanov and Alexander Raevskiy «Electroacoustic Excitation and Detection of Magnetic Oscillations in ZnO-YIG-GGG Magnetoelectric Bulk Acoustic Wave Resonator” 59th Annual Conference on Magnetism and Magnetic Materials, 3–7 November 2014 , Honolulu, Hawaii. Abstracts p. 63-64. Jointly sponsored by AIP Publishing, LLC and the IEEE Magnetics Society.
    78. В. А. Лузанов, А. С. Веденеев, А. М. Козлов, С. Н. Николаев, В. В. Рыльков, М. П. Темирязева, К. Ю. Черноглазов, А. С. Бугаев. Пленки магнетита на поверхности сапфира, полученные методом диодного высокочастотного реактивного распыления. Радиотехника и электроника, 2014, том 59, № 9, с. 944–946
    79. A.S.Vedeneev, V.A.Luzanov, V.V.Rylkov, A.M.Kozlov, S.N.Nikolaev, M.P.Temiryazeva, K.Yu.Chernoglazov, and A.S.Bugaev Magnetite layers on sapphire surface formed by diode RF reactive deposition. Proceedings of 22nd Int. Symp. S. Petersburg, Nanostructures: Physics and Technology, June 23-27 2014, pp. 282-283.
    80. Kolodko, Dobrynya V.; Mamedov, Nikita V.; Vizgalov, Igor V.; Sinelnikov, Dmitry N.; Sorokin, Ivan A. Water Vapor Influence on the Proton Component of the Hydrogen Penning Discharge. // 2014 20TH INTERNATIONAL WORKSHOP ON BEAM DYNAMICS AND OPTIMIZATION (BDO), pages 85-85, 2014.
    81. Podolyako, F.; Sorokin, I.; Vizgalov, I.; Zelenski, A.; Atoian, G.; Klenov, V. Studies of basic limitations on production, transport and acceleration of the high intensity polarized H- beam in the RHIC polarized ion source. // PHYSICS OF PARTICLES AND NUCLEI , Volume 45, Issue 1, pages 273-275, January 2014. DOI:10.1134/S106377961401081X.
    82. Zelenski, A.; Atoian, G.; Ritter, J.; Steski, D.; Podolyako, F.; Sorokin, I.; Vizgalov, I.; Klenov, V.; Zubets, V.; Davydenko, V.; Ivanov, A.; Kolmogorov, A. The RHIC polarized source upgrade.// PHYSICS OF PARTICLES AND NUCLEI, Volume 45, Issue 1, pages 308-311, January 2014. DOI:10.1134/S1063779614011140
    83. S.N. Bagayev, A.A. Kaminskii, Yu.L. Kopylov, I.M. Kotelyanskii, V.B. Kravchenko,, V.A. Luzanov. Single crystal growth in YAG ceramics of different stoichiometry. Optical Materials, 35 (2013), № 4, 757-760.
    84. Voronov, G. S.; Berezhetskii, M. S., Vizgalov, I. V., Sorokin, I. A. and others. Testing of the method for water microleakage detection from OH hydroxyl spectral lines at the L-2M stellarator. // PLASMA PHYSICS REPORTS, Volume 39, Issue 4, pages 277-288, April 2013. DOI:10.1134/S1063780X13040090
    85. Polyakov, V. I.; Rukovishnikov, A. I.; Shustin, E. G.; Meriakri, V. V.; Druz, B.; Yevtukhov, Y. Chemical MIS Sensor with Nanoporous Carbon Adsorbed Layer Using Deep Level Transient Spectroscopy as Sensing Method.//SENSORS, ACTUATORS, AND MICROSYSTEMS (GENERAL) - 221ST ECS MEETING, Volume 45, Issue 14, pages 45-54, November 2013. DOI:10.1149/04514.0045ecst
    86. Kurnaev, V.; Afonin, O.; Antipenkov, A.; Koborov, N. ; Sorokin, I. and others. Spectroscopic localization of water leaks in iter. //FUSION ENGINEERING AND DESIGN, Volume 88, Issue 6-8, pages 1414-1417, October 2013. DOI:10.1016/j.fusengdes.2012.12.022
    87. Shustin, E. G.; Isaev, N. V.; Klykov, I. L.; Peskov, V. V.; Polyakov, V. I.; Rukovishnikov, A. I.; Temiryazeva, M. P. Synthesis of carbon films in a plasma-chemical reactor based on beam-plasma discharge.//TECHNICAL PHYSICS, Volume 58, Issue 2, pages 245-250, February 2013. DOI10.1134/S1063784213020229
    88. Klykov, I. L.; Tarakanov, V. P.; Shustin, E. G. Energy Characteristics of Beam-Plasma Interaction in a Closed Volume.// PLASMA PHYSICS REPORTS, Volume 38, Issue 3, pages 263-270, March 2012. DOI:10.1134/S1063780X12020067