лХМНАПМЮСЙХ
ФИРЭ РАН. Лаборатория "Сегнетоэлектрические материалы и устройства"
Лаборатория "Сегнетоэлектрические материалы и устройства"

(лаборатория создана на основании приказа от "08" ноября 2022 г. N97 о.д. в рамках национального проекта "Наука и университеты")

Основные направления работ:
  • экспериментальные исследования по формированию структурно-совершенных сегнетоэлектрических пленок различных составов методами вакуумного осаждения на полупроводниковые и диэлектрические подложки;
  • разработка технологии изготовления планарных высокоэффективных электронно-перестраиваемых конденсаторных структур на основе сегнетоэлектрических материалов;
  • разработка методик создания конденсаторных структур большой емкости на основе high-k диэлектриков.

Лаборатория активно сотрудничает с ведущими российскими ВУЗами и организациями промышленности в области радиоэлектроники: РТУ МИРЭА, МИСиС, ИНМЭ РАН, АО "НПП Пульсар", АО "НПП Салют".

Научная проблема:

Разработка планарных электронно-управляемых конденсаторов большой емкости и с высоким пробивным напряжением, позволяющие уменьшить габариты интегральных устройств, в том числе СВЧ диапазона. При этом отпадает необходимость применения внешних навесных компонентов и повышается надежность конечного изделия.

Научная новизна решаемых задач

заключается в разработке и изготовлении планарных электронно-перестраиваемых конденсаторных структур большой емкости на основе сегнетоэлектрических пленок различных составов, в частности состава BaxSr1-xTiO3.

Руководитель лаборатории:



Афанасьев Михаил Сергеевич - ведущий научный сотрудник, д.т.н. доцент

тел.: 8(496)565-24-91, 8(496)565-25-20

e-mail: gvc@ms.ire.rssi.ru,

 

Сотрудники:

 
Е.А. Вилков - ведущий научный сотрудник
д.ф.-м.н.
 
 
В.А. Лузанов - ведущий научный сотрудник
к.ф.-м.н., с.н.с.
 
 
С.А. Овчинников - старший научный сотрудник
к.т.н.
 
 
А.А. Сивов - научный сотрудник
 
 
Е.В. Егоров - научный сотрудник
 
 
Д.А. Белорусов - научный сотрудник
 
 
И.А. Шушарин - ведущий программист
 
 
А.М. Пупина - старший программист
 
 
Л.Н. Савичева - инженер-исследователь
 
 
А-М. Глушков - техник-конструктор
 
 
М.И. Полынцева - техник
 
 
К.Р. Дехтяренко - техник
 
 
В.И. Ткаченко - техник
 
 
О.В. Акимова - техник