Лаборатория "Сегнетоэлектрические материалы и устройства" |
(лаборатория создана на основании приказа от "08" ноября 2022 г. N97 о.д. в рамках национального проекта "Наука и университеты")
Основные направления работ:
- экспериментальные исследования по формированию структурно-совершенных сегнетоэлектрических пленок различных составов методами вакуумного осаждения на полупроводниковые и диэлектрические подложки;
- разработка технологии изготовления планарных высокоэффективных электронно-перестраиваемых конденсаторных структур на основе сегнетоэлектрических материалов;
- разработка методик создания конденсаторных структур большой емкости на основе high-k диэлектриков.
Лаборатория активно сотрудничает с ведущими российскими ВУЗами и организациями промышленности в области радиоэлектроники: РТУ МИРЭА, МИСиС, ИНМЭ РАН, АО "НПП Пульсар", АО "НПП Салют".
Научная проблема:
Разработка планарных электронно-управляемых конденсаторов большой емкости и с высоким пробивным напряжением, позволяющие уменьшить габариты интегральных устройств, в том числе СВЧ диапазона. При этом отпадает необходимость применения внешних навесных компонентов и повышается надежность конечного изделия.
Научная новизна решаемых задачзаключается в разработке и изготовлении планарных электронно-перестраиваемых конденсаторных структур большой емкости на основе сегнетоэлектрических пленок различных составов, в частности состава BaxSr1-xTiO3.
Руководитель лаборатории:
Афанасьев Михаил Сергеевич - ведущий научный сотрудник, д.т.н. доцент
тел.: 8(496)565-24-91, 8(496)565-25-20
e-mail: gvc@ms.ire.rssi.ru,
Сотрудники:
|
Е.А. Вилков - ведущий научный сотрудник
д.ф.-м.н.
|
|
В.А. Лузанов - ведущий научный сотрудник
к.ф.-м.н., с.н.с.
|
|
С.А. Овчинников - старший научный сотрудник
к.т.н.
|
|
А.А. Сивов - научный сотрудник
|
|
Е.В. Егоров - научный сотрудник
|
|
Д.А. Белорусов - научный сотрудник
|
|
И.А. Шушарин - ведущий программист
|
|